簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="朗謬爾探針"


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    朗繆爾探針用於研究高深寬比金屬奈米管陣列的高功率脈衝磁控電漿特性分析
    • /109/ 碩士
    • 研究生: Alfreda Krisna Altama 指導教授: 朱瑾
    • 高深寬比在微機電系統及積體電路製造上為理想之結構,因其能提高其機械強度、減少運動平面彎曲,並增加用於功能化或電容性驅動和檢測的表面積。利用高功率脈衝磁控濺鍍(HIPIMS)技術製造高深寬比結構為離子…
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    • 全文公開日期 2026/01/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/01/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/01/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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